激光干涉儀原理應(yīng)用

  以光波為載體的激光干涉儀具有測量精度高、測量速度快、測量范圍廣、分辨率高的特點。它的光波波長可以直接定米，可以追溯到標(biāo)準(zhǔn)。因此，激光干涉儀廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、印刷電路板鉆機(jī)、坐標(biāo)測量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制和校準(zhǔn)、科研開發(fā)和高端設(shè)備制造。

測量原理。

 激光干涉系統(tǒng)發(fā)射j激光光束。射入線性干涉鏡后，分為兩束射入反射鏡，然后反射回分光鏡，Z回到激光干涉。當(dāng)光差不變時，激光干涉儀可以在相長干涉和相互干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。當(dāng)光差發(fā)生變化時，計算這些變化，測量兩個光程之間的差異。

 在陽極和陰極之間的高壓連接下，產(chǎn)生一種混合氣體，產(chǎn)生激光束，通過放大激光的強(qiáng)度將一些光傳輸?shù)捷敵黾す狻Ｔ谶@些參數(shù)中，激光穩(wěn)定頻率的精度由加熱器控制，激光管的長度保持在0.05ppm。此時，輸出穩(wěn)定后，激光可以干預(yù)測量。目前，大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀使用氦激光管，這些激光管的輸出波長為633納米。

 激光的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量和壽命等參數(shù)與性能有直接關(guān)系。其中，激光頻率是激光干涉z的基本參數(shù)，其頻率(波長)的精度和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保證。

開發(fā)激光干預(yù)技術(shù)。

 自1960年以來，梅曼成功開發(fā)了紅寶石激光，開始了光學(xué)技術(shù)飛速發(fā)展的新時代。此后，激光干涉儀廣泛應(yīng)用于長度、角度、微觀形態(tài)、轉(zhuǎn)速、光譜等領(lǐng)域，結(jié)合微電子和計算機(jī)技術(shù)，形成了現(xiàn)代干涉儀。

 由于激光具有優(yōu)異的時間相關(guān)性，自出現(xiàn)以來，發(fā)展了多種激光干預(yù)技術(shù):單頻激光干預(yù)、雙頻激光。

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